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電子類醫(yī)療

無油微型真空泵應用特點

點擊：4974 日期：2019-09-11 選擇字號：小中大

微型真空泵系統(tǒng)集成化，不使用電動機驅(qū)動，增加了電子控制系統(tǒng)讓整個真空泵的控制完全擺脫了人工操作實現(xiàn)了液體傳輸?shù)木珳剩嬲饬x上實現(xiàn)了微型化和智能化產(chǎn)品，所以又被稱為電子氣泵，微型真空泵。還被稱為，微型負壓泵，微型真空泵，微型氣體循環(huán)泵，微型氣泵，微型氣體采樣泵，微型打氣泵，微型抽氣泵，微型抽氣打氣兩用泵等。
電子半導體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、化學氣相沉積設備、物理氣相沉積設備、分子束外延設備、集成電路封裝、等其他半導體應用設備。均在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部份還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護工件免受污染。

微型真空泵壽命長，體積更小，重量更輕，結(jié)構(gòu)更加合理。完全實現(xiàn)了免維護，而且泵內(nèi)無油，不污真空泵染傳輸介質(zhì)，比其他泵符合電子半導體行業(yè)要求。

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